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我公司针对高真空电阻蒸发镀膜机抄板圆满完成

  我公司针对高真空电阻蒸发镀膜机抄板圆满完成,高真空电阻蒸发镀膜机配两对或三对蒸发电极,适用于实验室制备金属单质膜、有机膜、扫描电镜制样等,也可用作教学及生产线前期工艺试验等。基片台采用加热及温控系统(可选),以提高成膜质量。

  主要技术指标

  真空腔室 玻璃钟罩+底座,300360mm

  真空系统涡轮分子泵+直联旋片泵,电磁前级阀,一低一高数显复合真空计;

  真空极限优于2.0×10-4Pa (1.5×10-6Torr);

  抽速从大气抽至7×10-3Pa≤15min;

  可镀膜尺寸 120mm;基片台可定制;

  控制方式手动按钮控制;

  报警及保护对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施;

  占地面积长×宽: 1200×800mm

  总功率抽真空状态功率: 700W;蒸发状态功率: ≤3.2KW;

  如有抄板需要请与我公司商务中心联系。

 

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